熱式氣質量流量計用在**的量測氣的流量，具有不因溫度或壓力的波動而失準、重復性好、自動量測、工作壓力范疇寬，可以在真空或高壓氣路中工作，大流量分流器不易堵塞等特點。
質量流量計(FFM)／質量流量控制器(FFC)用在精密地量測或控制氣的質量流量， FFM/FFC的流量傳感器是熱式質量流量傳感器。MFM由傳感器、分流器、主通道及電路板等部分組成，用在量測流量；MFC除了具有與MFM類似的各部件之外，還有一個控制閥門及PID控制電路，它不但能量測流量，還能控制流量。
熱式氣質量流量計技術參數表 ；
插入式 管段式
量測介質 各種氣（乙炔氣除外）
管徑范疇（mm） DN25~6000
(管徑較大時，訂貨說明） DN10~2000
流速范疇（Nm/s） 0~100
準確度（%） ±1
介質溫度 －40~+350℃
工作壓力 2.5MPa（*大） 4.0MPa（*大）
供電電源 一體型：DC24V 分體型：AC220V
響應速度（S） 1
輸出信號
4－20mA（兩線制*大500Ω負載）
RS－485（光電隔離）